集成電路廢氣的種類
近十年來，集成電路產業在我國得到了迅速的發展，隨著產業規模的持續擴大，隨之而產生的各種污染也不斷引起企業、政府部門的高度重視。集成電路產生的污染物主要有生產廢水、工藝廢氣、生活污水、動力設備噪聲和固體廢物等。這些污染物必須進行有效治理才能提供安全的工作環境及優良的生態環境。下面韻藍環保為您介紹一下集成電路產業所產生廢氣的種類。
①酸性廢氣:來源于工藝流程中使用各種酸液對芯片進行腐蝕、清洗的過程以及擴散等工序,主要污染物為氟化物、氯化氫、氮氧化物、硫酸霧等。
②堿性廢氣:來源于使用氨水、氨氣的刻蝕工序,主要污染物為NH3。
③有機廢氣:來源于清洗、勻膠、去膠、刻蝕、顯影工序使用有機溶劑清洗的過程,主要成份為異丙醇、光刻膠等有機物。
④含塵廢氣:來源于CVD工藝排氣,主要污染物為粉塵(SiO2)。
⑤工藝尾氣:來源于擴散、離子注入和CVD等工序使用的特殊氣體,如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B2H6)等,除部分在工藝中反應消耗外,其余均以尾氣的形式排放。
⑥熱處理廢氣:來源于擴散等工序中的熱氣排放,直接排入大氣。
