集成電路廢氣的種類
近十年來(lái)，集成電路產(chǎn)業(yè)在我國(guó)得到了迅速的發(fā)展，隨著產(chǎn)業(yè)規(guī)模的持續(xù)擴(kuò)大，隨之而產(chǎn)生的各種污染也不斷引起企業(yè)、政府部門(mén)的高度重視。集成電路產(chǎn)生的污染物主要有生產(chǎn)廢水、工藝廢氣、生活污水、動(dòng)力設(shè)備噪聲和固體廢物等。這些污染物必須進(jìn)行有效治理才能提供安全的工作環(huán)境及優(yōu)良的生態(tài)環(huán)境。下面韻藍(lán)環(huán)保為您介紹一下集成電路產(chǎn)業(yè)所產(chǎn)生廢氣的種類。
①酸性廢氣:來(lái)源于工藝流程中使用各種酸液對(duì)芯片進(jìn)行腐蝕、清洗的過(guò)程以及擴(kuò)散等工序,主要污染物為氟化物、氯化氫、氮氧化物、硫酸霧等。
②堿性廢氣:來(lái)源于使用氨水、氨氣的刻蝕工序,主要污染物為NH3。
③有機(jī)廢氣:來(lái)源于清洗、勻膠、去膠、刻蝕、顯影工序使用有機(jī)溶劑清洗的過(guò)程,主要成份為異丙醇、光刻膠等有機(jī)物。
④含塵廢氣:來(lái)源于CVD工藝排氣,主要污染物為粉塵(SiO2)。
⑤工藝尾氣:來(lái)源于擴(kuò)散、離子注入和CVD等工序使用的特殊氣體,如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B2H6)等,除部分在工藝中反應(yīng)消耗外,其余均以尾氣的形式排放。
⑥熱處理廢氣:來(lái)源于擴(kuò)散等工序中的熱氣排放,直接排入大氣。
